YAG陶瓷

YAG(PAC3)陶瓷是氧化钇-氧化铝的化合物,兼具氧化钇的耐侵蚀特性和氧化铝的良好结构强度,是先进制程刻蚀机等设备的重要零部件材料。同时,YAG陶瓷还具有优异的光学特性,适用于头红外光学部件。

主要应用:

  • 特殊气体喷嘴 
  • 耐等离子体刻蚀部件
  • 靶材 
  • 红外窗口 
创建时间:2025-02-24 01:05
Nozzle
Nozzle
沪硅首页    材料品类    YAG陶瓷