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    氧化钇具有良好的耐等离子体侵蚀特性,可用作刻蚀机等零部件的涂层材料。
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    YAG(PAC3)陶瓷是氧化钇-氧化铝的化合物,兼具氧化钇的耐侵蚀特性和氧化铝的良好结构强度,是先进制程刻蚀机等设备的重要零部件材料。同时,YAG陶瓷还具有优异的光学特性,适用于头红外光学部件。
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    氧化铝陶瓷具有良好的绝缘性、绝热性和耐磨性,因价格相对便宜,且其综合性能均衡,是应用范围最广泛的陶瓷材料之一。
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