沪硅精密陶瓷科技团队由中科院硅酸盐所、微系统所及沪硅管理运营团队组成，沪硅管理运营团队是以上海交大背景，有世界五百强及美国半导体装备研发机及械制造经验的精英团队。沪硅精密陶瓷科技团队掌握特种陶瓷粉体配方、制备工艺、核心装备制造、精密机械加工等跨专业的核心技术能力。沪硅科技致力于面向半导体装备，尤其是涉及特殊工作条件的核心装备（如刻蚀机、CVD薄膜沉积）的精密陶瓷零部件的研究和生产，金属材料机械加工，以及面向装备企业的定制化服务，为客户提供全面的解决方案。沪硅科技与中微及国内光刻机主流厂商保持紧密合作，致力于填补国内耐等离子体侵蚀陶瓷方面产业空白 ，提高半导体装备国内大循环的自主可性 ，为客户提供高品质、高效率、高附加值的产品和服务。
